Ці методи служать для підвищення виходу матеріалу з рівномірним розподілом домішки Їх відмітною особливістю є те, що протягом усього кристаллизационного процесу в нього вводяться певні зміни Активні методи вирівнювання складу поділяються на дві основні групи

Перша – включає методи, в яких з метою підтримки концентрації домішки в розплаві протягом усього процесу вирощування монокристала постійно проводять підживлення розплаву або нелегованої твердої, рідкої або парової фазою (якщо K < 1), або фазою, що містить легуючу домішка (якщо K > 1) У цих методах в процесі кристалізації повинні дотримуватися такі умови: CL = const, K = const, V = const, CS = KCL = Const Система процесу вирощування однорідного кристала в найбільш загальному вигляді включає в себе наступні елементи: зростаючий кристал, розплав і надходить в нього підживлює масу

Друга – методи, в яких змінюються самі умови росту монокристалів Процеси вирощування однорідних кристалів цими методами протікають за таких умов:CL   ƒ=  const  K  ƒ=  const

f ƒ= const CS  = KнCн = KдоCк = const, де н – початок, а до – кінець

L                  L

При цьому програма зміни кристаллизационного процесу забезпечує сталість швидкості захоплення домішки протягом усього процесу вирощування монокристала

Крім цих двох груп методів можливі і їх комбінації Розглянемо спочатку першу групу методів більш докладно

Джерело: І А Случинський, Основи матеріалознавства і технології напівпровідників, Москва – 2002