Однією з найважливіших практичних завдань при вирощуванні епітаксійних монокристалічних плівок є зясування причин утворення дефектів Велика частина досліджень присвячена вивченню різних стадій зростання епітаксійних плівок з метою знаходження способів, що дозволяють знизити кількість дефектів в них

Дослідження структури плівок у процесі їх росту дозволило визначити основні джерела дефектів у плівках До них відносяться наступні

1 Дефекти підкладки Плівка може наслідувати дислокації підкладки

2 Дислокації невідповідності

3 Малокутових кордону, що утворюються при зрощенні стабільних великих зародків, що мають різну орієнтацію

Дефекти упаковки, що виникають при коалесценції зародків Причина їх виникнення – невідповідність решіток зародків, повязане з порушенням порядку чергування атомних площин при слія

нии стабільних зародків у порівнянні з непошкодженими монокристалом Дефекти упаковки можуть виникати і в місці контакту зародка і підкладки

4 Дислокації, що виникають через ефектів пластичної деформації зростаючої плівки Після коалесценції зародків і утворення суцільної плівки механізм виникнення дислокацій невідповідності перестає діяти Разом з тим із зростанням товщини плівки у звязку зі зменшенням частки невідповідності, що компенсується за рахунок пружної деформації, напруження, при якому починається пластична деформація, зменшується, що веде до зростання щільності дислокацій

5 У разі сильно легованих підкладок дефекти в епітаксійних шарах можуть викликатися виділеннями і предвиделеніямі другої фази в підкладці

6 Забруднення поверхні підкладки також можуть призводити до утворення дефектів в епітаксиальні шарі

Джерело: І А Случинський, Основи матеріалознавства і технології напівпровідників, Москва – 2002