Метод гарячої стінки являє собою різновид технології вакуумного осадження плівок, характеризуемую тим, що зростання відбувається в умовах, дуже близьких до термодинамічної рівноваги Основний особливістю методу є наявність нагрітого екрану (гарячої стінки), службовця для зосередження та направлення на підкладку испаряемого речовини При цьому виключаються втрати випаровується, створюється можливість підтримання високого тиску парів речовини або його різних […]