Останнім часом посилено розвивається технологія вирощування сверхрешеточних структур з газової фази з використанням металоорганічних сполук (MOCVD4) В основі цього методу лежить метод хімічних реакцій MOCVD являє собою метод вирощування, в якому необхідні компоненти доставляються в камеру зростання у вигляді газоподібних металлорганических алкільних сполук, і зростання шару здійснюється при термічному розкладанні (піролізі) цих газів і подальшої […]