У літературі прийнято розділяти газоподібні фази на парові і газові Паровий фазою називають газоподібну фазу, склад якої збігається зі складом вирощуваного з неї нелегованого речовини або зєднання Газової називають газоподібну фазу, склад якої відрізняється від складу вирощуваного з неї нелегованого речовини або зєднання