МЛЕ або MBE6 являє собою процес епітаксіального зростання шарів різних сполук, що відбувається за рахунок реакцій між термічно створюваними молекулярними або атомними пучками відповідних компонентів на поверхні підкладки, що знаходиться в надвисокому вакуумі при підвищеній температурі В основі цієї технології лежить можливість зростання епітаксійних плівок, по суті, в динамічному режимі на відміну від більш традиційних […]

Іванов Ю. А., Малишев К. В., Перунів Ю. М., Федоркова Н. В. Московський державний технічний університет ім. Н.Е. Баумана 2-я Бауманська, 5, Москва, РФ Федеральне державне унітарне підприємство «Центральний науково-дослідний радіотехнічний інститут (ФГУП «ЦНІРТІ»)