В основі отримання монокристалів з газової фази методом хімічного транспорту лежать хімічні реакції також, як і в основі методу дисоціації і відновлення газоподібних сполук Зростання кристала відбувається в результаті реакцій розкладання газоподібних молекул Прикладом використання цього методу може служити одержання монокристалічного германію:

Семенов Е А, Посадський В Н, Тяжлов В С, Кузьмін Ю А, Ковальчук А Г НВЦ «Алмаз-Фазотрон» вул Панфілова 1, 410033, Росія тел: (8452) 479-933 Анотація – Представлені результати розробки сверхширокополосного СВЧ-перетворювача з пониженням і підвищенням частоти на монолітних інтегральних схемах Наведено схема побудови, конструкція вузлів, основні експериментальні результати