Y Poplavko, I Golubeva, and Y Prokopenko National Technical University of Ukraine 37, Peremogi Ave, Kiev, 03056, Ukraine e-mail: poplavko@ieeeorg Abstract – Possible alternative of low loss and highly tunable MEMS phase shifter is discussed Dielectric or metallic parts of device should have the piezo-dirigible air gap between them Important is to provide a strong […]

Орлов А. Т. Національний технічний університет України «КПІ» Проспект Перемоги, буд.37, Київ – 03056, Україна Тел.: +38 (044) 4951812; e-mail: gener@trirema.kiev.ua Анотація – Розглянуто сучасні тонкоплівкові п’єзоелектричні резонатори об’ємних акустичних хвиль, пасивні і активні фільтри на їх основі, сумісні з технологією інтегральних мікросхем.