Бордусов С. В. Білоруський державний університет інформатики і радіоелектроніки Білорусь, 220027, Мінськ, П. Бровки, 6 E-mail: Bordusov@gw.bsuir.unibel.by Анотація Існуючі методи вакуумноплазменной обробки (методи очищення, травлення, осадження матеріалів) вносять, як правило, значну додаткову дефектність в кристалічну структуру приповерхневих шарів і плівок [1-4], що погіршує їх електрофізичні властивості, а значить, і параметри приладів, виготовлених на їх основі. […]