Толстих п В ^ , Козлова Є І ^, Азарко І І ^ , Пуховой А А ^, Бук Фізичний факультет БП / пр Незалежності, 4, м Мінськ, 220050, Білорусь ^ ^ Лабораторія тонких плівок Кафедра фізики Університет Дуйсбург-Ессен вул Університетська, 2-5, м Ессен, D45117, Німеччина

Метод рідинної епітаксії за своєю суттю нічим не відрізняється від методу вирощування обємних монокристалів з розчинів, який вже докладно розглядалося (див гл 6) Основною перевагою методу рідинної епітаксії є те, що зростання епітаксіальної плівки відбувається при температурах нижчих, ніж температура плавлення вихідної речовини Розберемо докладніше цей метод вирощування епітаксійних плівок на прикладі системи Ge-In Для […]

Костенко В І, Сорочак А М, Чамор Т Г, Чевнюк Л В Київський національний університет імені Тараса Шевченка вул Володимирська, 64, м Київ, 01033, Україна тел: +38044-526-64-03, E-mail: ctamila@univkievua Анотація – Експериментально досліджується впливу товщини ферритового шару на параметри ФМР при намагнічуванні уздовж легкої осі в зразках BaFei20i9 Проведено порівняння з теорією магнитостатических коливань для […]

Однією з найважливіших практичних завдань при вирощуванні епітаксійних монокристалічних плівок є зясування причин утворення дефектів Велика частина досліджень присвячена вивченню різних стадій зростання епітаксійних плівок з метою знаходження способів, що дозволяють знизити кількість дефектів в них

Котельников І В, Буслов О Ю, Кейс В Н, Козирєв А Б Санкт-Петербурзький державний електротехнічний університет ім Леніна «ЛЕТІ» м Санкт-Петербург, 197376, Росія тел: (812) 234-48-09, e-mail: mlp@eltechru Анотація – Запропоновано методику для вимірювання діелектричної проникності і тангенса кута діелектричних втрат сегнетоелектричних плівок на діелектричній підкладці за допомогою хвилеводно-діелектричного резонатора (ВДР) Наведено результати вимірювань сегнетоелектричних […]

Анотація – Запропонована і експериментально реалізована методика вимірювання електропровідності металевих плівок в шаруватих структурах в діапазоні товщини від одиниць до тисяч нанометрів за спектрами відображення електромагнітного випромінювання

Слово епітаксії складається з двох грецьких слів: «епі» – «над» і «таксис» – «упорядкування» Тому термін епітаксії означає нарощування Кристалографічна орієнтованих монокристалічних шарів на монокристалічні підкладки або один на одного Монокристалічна підкладка в процесі вирощування грає роль затравочного кристала

Вище нами були розглянуті деякі методи газової епітаксії, що використовують оборотні хімічні реакції Наступна група методів епітаксії заснована на кристалізації плівок з парової фази Вирощування плівок з парової фази, утвореної з атомів і молекул вирощуваного матеріалу, виробляється переважно в відкачаних вакуумних камерах (рис 913) Процес зводиться до створення потоку парів, що випускаються джерелом, нагрітим до […]

Експериментальне вивчення процесів зародкоутворення, зростання епітаксійних плівок і їх якості залежно від умов вирощування зараз проводиться за допомогою найсучаснішої апаратури безпосередньо в процесі конденсації На підставі цих досліджень можна зробити висновки про місця переважної адсорбції атомів, вивчити вплив забруднюючих газів на освіту зародків, оцінити щільність, досконалість і орієнтацію зародків, а також кількісно оцінити Eдиф і […]

МЛЕ або MBE6 являє собою процес епітаксіального зростання шарів різних сполук, що відбувається за рахунок реакцій між термічно створюваними молекулярними або атомними пучками відповідних компонентів на поверхні підкладки, що знаходиться в надвисокому вакуумі при підвищеній температурі В основі цієї технології лежить можливість зростання епітаксійних плівок, по суті, в динамічному режимі на відміну від більш традиційних […]