В основі отримання монокристалів з газової фази методом хімічного транспорту лежать хімічні реакції також, як і в основі методу дисоціації і відновлення газоподібних сполук Зростання кристала відбувається в результаті реакцій розкладання газоподібних молекул Прикладом використання цього методу може служити одержання монокристалічного германію: