Григорьянц В. В., Кочмар Л. Ю., Шилов І. П. Інститут радіотехніки й електроніки РАН 141120, м. Фрязіно, пр. Введенського, 1 Тел.: (095) 5269190, e-mail: ipshilov @ mtu-net . ru Анотація – Методом НВЧ-плазмохімічного осадження при зниженому тиску отримані планарниє хвилеводні структури на основі кварцового скла з підвищеною апертурою і малими втратами для волоконно- оптичних систем […]