Дифузія з нескінченно тонкого шару відповідає ситуації, коли невелика кількість легуючого речовини осідає на поверхні легованих матеріалу У цьому випадку всі диффундирующие протягом деякого часу t з поверхні в обєм атоми повністю переходять в кристал, причому розподіляються моноатомного У будь-який момент часу повну кількість дифундують атомів залишається постійним