Процес дифузії атомів у твердих розчинах впровадження є найпростішим і найбільш наочним прикладом цього механізму дифузії Сам механізм зводиться до послідовного переходу атомів з одного міжвузля в інше У розведених твердих розчинах можна вважати перескоки атома з одного міжвузля в інше незалежними один від одного Швидкість дифузії атомів невеликого розміру по Міжвузля