Однією з найважливіших практичних завдань при вирощуванні епітаксійних монокристалічних плівок є зясування причин утворення дефектів Велика частина досліджень присвячена вивченню різних стадій зростання епітаксійних плівок з метою знаходження способів, що дозволяють знизити кількість дефектів в них

Експериментальне вивчення процесів зародкоутворення, зростання епітаксійних плівок і їх якості залежно від умов вирощування зараз проводиться за допомогою найсучаснішої апаратури безпосередньо в процесі конденсації На підставі цих досліджень можна зробити висновки про місця переважної адсорбції атомів, вивчити вплив забруднюючих газів на освіту зародків, оцінити щільність, досконалість і орієнтацію зародків, а також кількісно оцінити Eдиф і […]

У літературі прийнято розділяти газоподібні фази на парові і газові Паровий фазою називають газоподібну фазу, склад якої збігається зі складом вирощуваного з неї нелегованого речовини або зєднання Газової називають газоподібну фазу, склад якої відрізняється від складу вирощуваного з неї нелегованого речовини або зєднання