Останнім часом посилено розвивається технологія вирощування сверхрешеточних структур з газової фази з використанням металоорганічних сполук (MOCVD4) В основі цього методу лежить метод хімічних реакцій MOCVD являє собою метод вирощування, в якому необхідні компоненти доставляються в камеру зростання у вигляді газоподібних металлорганических алкільних сполук, і зростання шару здійснюється при термічному розкладанні (піролізі) цих газів і подальшої […]

У літературі прийнято розділяти газоподібні фази на парові і газові Паровий фазою називають газоподібну фазу, склад якої збігається зі складом вирощуваного з неї нелегованого речовини або зєднання Газової називають газоподібну фазу, склад якої відрізняється від складу вирощуваного з неї нелегованого речовини або зєднання